2 術語 

2.0.1 潔凈室 clean room
  空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產生及滯留的粒子。室內其他有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。
2.0.2 潔凈區 clean zone
  空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應減少空間內誘入、產生及滯留粒子。空間內其他有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。潔凈區可以是開放式或封閉式。
2.0.3 移動式潔凈小室 mobile clean booth
  可整體移動位置的小型潔凈室。有剛性和柔性材料圍擋兩類。
2.0.4 人身凈化用室 room for cleaning human body
  人員在進入潔凈區之前按一定程序進行凈化的房間。
2.0.5 物料凈化用室 room for cleaning material
  物料在進入潔凈區之前按一定程序進行凈化的房間。
2.0.6 粒徑 particle size
  給定的粒徑測定儀所顯示的、與被測粒子的響應量相當的球形體直徑。
2.0.7 懸浮粒子 airborne particle
  用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1μm～5μm的固體和液體粒子，但不適用于表征懸浮粒子的物理性、化學性、放射性及生命性。
2.0.8 超微粒子 ultrafine particle
  具有當量直徑小于0.1μm的粒子。
2.0.9 微粒子 microparticle
  具有當量直徑大于5μm的粒子。
2.0.10 粒徑分布 particle size distribution
  粒子粒徑頻率分布和累積分布，是粒徑的函數。
2.0.11 含塵濃度 particle concentration
  單位體積空氣中懸浮粒子的顆數。
2.0.12 潔凈度 cleanliness
  以單位體積空氣中大于或等于某粒徑粒子的數量來區分的潔凈程度。
2.0.13 氣流流型 air flow pattern
  對室內空氣的流動形態和分布進行合理設計。
2.0.14 單向流 unidirectional airflow
  通過潔凈室（區）整個斷面的風速穩定、大致平行的受控氣流。
2.0.15 垂直單向流 vertical unidirectional flow
  與水平面垂直的單向流。
2.0.16 水平單向流 horizontal unidirectional flow
  與水平面平行的單向流。
2.0.17 非單向流 non-unidirectional flow
  送入潔凈室（區）的送風以誘導方式與室（區）內空氣混合的氣流分布類型。
2.0.18 混合流 mixed airflow
  單向流和非單向流組合的氣流。
2.0.19 潔凈工作區 clean working area
  除工藝特殊要求外，指潔凈室內離地面高度0.8m～1.5m的區域。
2.0.20 空氣吹淋室 air shower
  利用高速潔凈氣流吹落并清除進入潔凈室人員表面附著粒子的小室。
2.0.21 氣閘室 air lock
  設置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設置的緩沖間。
2.0.22 傳遞窗 pass box
  在潔凈室隔墻上設置的傳遞物料和工器具的窗口。兩側裝有不能同時開啟的窗扇。
2.0.23 潔凈工作臺 clean bench
  能夠保持操作空間所需潔凈度的工作臺。
2.0.24 潔凈工作服 clean working garment
  為把工作人員產生的粒子限制在最小程度所使用的發塵量少的潔凈服裝。
2.0.25 空態 as-built
  設施已經建成，其服務動力公用設施區接通并運行，但無生產設備、材料及人員的狀態。
2.0.26 靜態 at-rest
  設施已經建成，生產設備已經安裝好，并按供需雙方商定的狀態運行，但無生產人員的狀態。
2.0.27 動態 operational
  設施以規定的方式運行，有規定的人員在場，并在商定的狀態下進行工作。
2.0.28 已裝過濾器檢漏 installed filter system leakage test
  為確認過濾器安裝良好、沒有向潔凈室（區）的旁路滲漏，過濾器及其框架均無缺陷和滲漏所做的檢測。
2.0.29 高效空氣過濾器 high efficiency particulate air filter (HEPA)
  在額定風量下，對粒徑大于或等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9％以上的空氣過濾器。
2.0.30 超高效空氣過濾器 ultra low penetration air filter (ULPA)
  在額定風量下，對粒徑0.1μm～0.2μm粒子的捕集效率在99.999％以上的空氣過濾器。
2.0.31 純水 purity water
  對電解質雜質含量和非電解質雜質含量均有要求的水。
2.0.32 防靜電環境 antistatic environment
  能防止靜電危害的特定環境，在這一環境中不易產生靜電，靜電產生后易于消散或消除，靜電噪聲難以傳播。
2.0.33 表面電阻 surface resistance
  在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過兩極間的穩態電流之商。
2.0.34 體積電阻 volume resistance
  在材料的相對兩表面上放置的兩電極間所加直流電壓與流過兩電極間的穩態電流之商。該電流不包括沿材料表面的電流。
2.0.35 表面電阻率 surface resistivity
  在材料表面層的直流電場強度與穩態電流線密度之商。
2.0.36 體積電阻率 volume resistivity
  在材料內層的直流電場強度與穩態電流密度之商。
2.0.37 專用消防口 fire-fight access
  消防人員為滅火而進入建筑物的專用入口，平時封閉，使用時由消防人員從室外打開。
2.0.38 自凈時間 recovery time of cleanliness
  潔凈室被污染后，凈化空調系統開始運行至恢復到穩定的規定室內潔凈度等級所需的時間。
2.0.39 生物潔凈室 biological clean room
  潔凈室空氣中懸浮微生物控制在規定值內的限定空間。
2.0.40 浮游菌 airborne viable bacteria
  懸浮在空氣中的帶菌微粒。
2.0.41 沉降菌 settlemen bacteria
  降落在培養皿上的帶菌微粒。
2.0.42 U描述符 U descriptor
  每立方米空氣中包括超微粒子的實測或規定濃度。U描述符不能規定懸浮粒子潔凈度等級，但它可與懸浮粒子潔凈度等級同時引述，也可以單獨引述。
2.0.43 M描述符 M descriptor
  每立方米空氣中實測的或規定的微粒子。M描述符不能規定懸浮粒子潔凈度等級，但它可與懸浮粒子潔凈度等級同時引述，也可以單獨引述。
2.0.44 工業管道 industrial pipe
  潔凈廠房內，除給水排水管道和凈化空調、采暖通風管道外的氣體、液體管道，統稱為工業管道。